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三大半导体巨头试水450mm晶圆
http://news.21tx.com 2008年05月09日 太平洋电脑网

  英特尔、台积电(TSMC)与三星电子这三大半导体厂商者昨日共同宣布,未来将共同开发450mm大尺寸晶圆,以突破目前晶片制造和应用成本日渐提高的问题,提高整体生产效益,促进半导体产业持续成长。在这次的公告发言中,这三家公司表示将与业界紧密合作,帮助到2012年提供所需的所有系统、基础结构和产能,来开发和测试该试产线。

  由于半导体产业每隔10年,就跨入下一波更大尺寸的晶圆世代,从1991年200mm(8吋)晶圆厂投产后,2001年导入了300mm(12吋)晶圆生产,且晶圆尺寸愈大,有助于降低积体电路的制造成本。英特尔早在二年前,即提出导入450mm(18吋)晶圆的建议。

  更大的晶圆尺寸意味着更低的芯片平均量产成本,,每片450mm晶圆所产出的晶粒数是300mm的二倍以上,除了生产成本降低之外,因为生产过程使用的能源、晶圆与其他资源使用减少,而且还有助于改善空气污染、全球温室气体排放和水资源消耗的问题),这对于芯片制造商来说,无疑具有巨大的吸引力。

  但是其缺点也同样明显,那就是前期设备资金投入过于巨大。预估,一座450mm晶圆厂须斥资100亿美元,相当于300mm厂的三倍资金规模。这意味着只有少数几家半导体大厂才有具备这种实力,同时通过强强联合能更好的控制成本和降低风险。

  台积电、英特尔和三星表示,半导体产业应该准备在2012年转入450mm晶圆,这是一项浩大的工程,因此需要整个产业一起合作,达成这项目标。

  三家公司现在正与其余半导体业者合作,第一阶段将这三家公司可以通过应用联盟标准,合理的改变300mm平台架构和自动化线,制定通用的时间表,来提高投资回报率,并充分降低450mm研发成本,这种联盟协作的方法有助于使风险和过渡成本最小化。同时确保未来导入450mm晶圆时,所需的元件、基础设施和技术能力等准备就绪,并测试完成,并建立标准化的流程。

  同时,这三家公司表示将继续于国际Sematech (ISMI) 合作,ISMI将在协调450mm晶圆供应、标准制定和设备能力验证上起重要作用。

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